“粗顆粒計數器”是一種完全不同的測量設備。

一種可以測量粘附粉塵而不是漂浮粉塵的專用測量儀器。
對10μm以上的粗大顆粒進行分類計數！

你有這方面的問題嗎？

• 即使在無塵室內工作，異物的附著也不會減少。
• 雖然它是用粒子計數器管理的，但它不能與缺陷相關聯。
• 我想創(chuàng)造一個干凈的環(huán)境，但我不知道如何管理它。
• 衣服上附著的異物帶入對策困難重重。

作為以粗大粒子（10μm以上）對策、粉塵、異物對策為目標的潔凈環(huán)境構建指標，落塵測量非常有效。

點擊此處查看 2021 年 2 月頒布的 ISO14644-17 中描述的 PDR 和 PDRL 之間的關系 

符合ISO14644-9（表面清潔標準）。單擊此處查看“落塵計數器”以調查附著的灰塵 

什么是落塵計數器？

這是一種特殊的測量儀器，可以測量落下的灰塵而不是浮塵。對10μm以上的粗顆粒進行分級計數。潔凈室中粘附在產品上并引起粉塵和異物缺陷的顆粒，很多都是落塵，其特點是落下速度非常緩慢，并且會不斷堆積。

落塵計數器是利用樣品收集盤（4英寸硅片）對落在其上的粉塵進行分類計數的裝置。測量結果可以在 PC 上顯示和保存。由于采樣是在硅晶圓上進行的，因此可以在放置晶圓的任何地方進行評估。

*硅晶圓是一種半導體基板，是一種表面平整度和耐熱性**的圓盤狀樣板。

 本產品是專門用于對硅片樣品中10μm～100μm的粗顆粒進行分類計數的測量裝置。
由于形狀和重量，大于 100 μm 的顆粒不適用于硅片樣品。
在這種情況下，請嘗試“Dusker” 。

落塵計數器陣容

*3) 可選類別中設置的閾值是從校準曲線中獲得的值，不能保證計數效率。
*4) 只保證4英寸區(qū)域的計數效率，不能保證2英寸區(qū)域的計數效率，是有限的。

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