表面檢查燈(微粒檢出機)就是適應(yīng)工業(yè)越來越高的環(huán)境要求而研發(fā)生產(chǎn)的高科技表面污染檢查設(shè)備，它的應(yīng)用有效解決了企業(yè)制程環(huán)境適時控制問題，受到大量工藝及制程工程師和企業(yè)主的歡迎，在提升產(chǎn)品品質(zhì)上也開始扮演重要角色，因而也受到相關(guān)品質(zhì)部門人員的歡迎。近年來UV表面檢查燈(微粒檢出機)越來越廣泛的應(yīng)用于工業(yè)電子及生物醫(yī)藥無塵室環(huán)境控制，其主要作用是能有效地將肉眼不可見之微粒有效檢出及可視化呈現(xiàn)，極其適合于工業(yè)管理者對無塵室的適時檢查(手持式表面檢查燈)，也可用于工業(yè)制程環(huán)境的改善和品質(zhì)控制管理(桌上型表面檢查燈)。根據(jù)不同的制程要求有紫光、綠光及白光燈，實踐證明UV表面微粒檢查機對對曝光機;顯影機、蝕刻、黃光及偏光板貼附機臺效果*為顯著。UV光是使用用人體無害的 UVA 波長: 365nm ，對于制程機臺 or Parts Cleaner 機臺上之有機物質(zhì)，油漬、水漬、 帶靜電Paricle、毛屑、纖維、膠類物質(zhì)Particle皆可觀察。
    它們的應(yīng)用有利于提高環(huán)境要求，改善無塵室管理及更有效地控制，符合工業(yè)發(fā)展的潮流。較無法觀察金屬鐵屑、玻璃及白底的地方，需強光或換一個較暗的背景。目前臺積電、奇美、華映、群創(chuàng)大量使用美國路陽LUYOR公司UV表面檢查燈(微粒檢出機)。無塵室檢查表面灰塵使用手持式UV光表面檢查燈(微粒檢出機)采用型號為luyor-365專用表面檢查燈，UV光波長為365nm，光強度為5000uw以上 。

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